科技之全球壟斷 第593章

蔚藍(lán)海岸實(shí)驗(yàn)室，紫星光刻機(jī)無(wú)塵工作室。

今天一早，羅晟接到消息便來(lái)到了這里，此時(shí)在這間兩萬(wàn)多平米的無(wú)塵室，幾十名工程師和羅晟都穿著工作無(wú)塵服在里面，他的手里正拿著一塊晶圓流片反復(fù)觀察欣賞，這尺寸間的藝術(shù)正是紫星光刻機(jī)的杰作。

站在他身邊的一位工程師興奮使然的道：“光源的轉(zhuǎn)換效率達(dá)到了一致，也實(shí)現(xiàn)了正確的控制，團(tuán)隊(duì)攻克了250瓦光源，客戶可以達(dá)到每小時(shí)155片晶圓吞吐量，而在實(shí)驗(yàn)室里，則是可以實(shí)現(xiàn)超過(guò)300瓦的光源功率，完成最后的測(cè)試紫星設(shè)備就可以正式出貨了。”

全球幾家頂尖的芯片制造商一直以來(lái)都堅(jiān)持250瓦的光源功率是達(dá)成每小時(shí)155片晶圓生產(chǎn)量吞吐的必要條件，而ASML與光源技術(shù)供貨商Cymer到現(xiàn)在為止還未能實(shí)現(xiàn)這一光源功率目標(biāo)，這家公司兩年前被ASML收購(gòu)，但進(jìn)展有限，這也是ASML在進(jìn)來(lái)發(fā)展不順的原因，雖說(shuō)他們已經(jīng)提前一步搞出了極紫外光刻機(jī)了。

羅晟把手里的流片交給旁邊的工程師，笑道：“干得不錯(cuò)，我們現(xiàn)在可以有底氣說(shuō)出半導(dǎo)體制造設(shè)備最重要的光刻機(jī)，我們領(lǐng)先世界了，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體廠商拿著大把的鈔票去求著ASML購(gòu)買(mǎi)還得看對(duì)方心情這種局面，該結(jié)束了。”

在場(chǎng)的人聽(tīng)到這話也是倍感振奮，在羅晟的話音剛落后，都止不住內(nèi)心的激動(dòng)心情而鼓掌，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體事業(yè)里程碑式的突破而鼓掌，也為自己的事業(yè)為自己鼓掌。

兩千多個(gè)日日夜夜的奮戰(zhàn)，不為別的，就為了爭(zhēng)一口氣。

幾萬(wàn)名工程師、研究員、幾百家廠商配合，集中火力朝著一個(gè)點(diǎn)不斷的發(fā)起火力沖擊，而羅晟在這兩千多個(gè)地球日照循環(huán)里，僅僅在極紫外光刻機(jī)設(shè)備的研發(fā)上就投入超過(guò)了1000億美元，是ASML公司在極紫外光刻機(jī)研發(fā)投入的五倍之多。

但毫無(wú)疑問(wèn)，這一切都是值得的。

被調(diào)來(lái)負(fù)責(zé)紫星光刻機(jī)項(xiàng)目的總監(jiān)李淳勝道：“與業(yè)界2012年約25瓦的光源相比較而言，250瓦光源意味著十倍的進(jìn)步。而ASML的工程師在簡(jiǎn)報(bào)EUV生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)學(xué)時(shí)很無(wú)奈的表示：250瓦光源功率永遠(yuǎn)都是明年的目標(biāo)，哈哈。”

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體一直不如外國(guó)人，國(guó)內(nèi)相關(guān)從業(yè)者的信心在很長(zhǎng)一段時(shí)間是備受打擊的，這一次的突破不但是切切實(shí)實(shí)的成果突破，也給國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體事業(yè)的有志之士們莫大的信心。

信念這個(gè)東西聽(tīng)起來(lái)有點(diǎn)玄，尤其是從事科技工作，但有時(shí)候真的很重要，這是士氣問(wèn)題。

紫星光刻機(jī)成功先于ASML公司的NXE搞定，雖然對(duì)方遲早會(huì)解決這個(gè)問(wèn)題，并且也不會(huì)等太久了，但這在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域絕對(duì)是里程碑式的事件。

因?yàn)檫@將打破全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的格局，也必將會(huì)推動(dòng)整個(gè)行業(yè)進(jìn)入全新的時(shí)代。

羅晟看著在場(chǎng)的技術(shù)員們，他能看得出每一個(gè)人此刻的內(nèi)心都很難平靜，道：“外面總有人一直說(shuō)我們技術(shù)開(kāi)發(fā)不可能成功，我們的人才不如外國(guó)人。確實(shí)花了很長(zhǎng)的時(shí)間，很大的人力、物力和財(cái)力的投入，但我們終究還是抵達(dá)了終點(diǎn)，走到了外面所有人都認(rèn)為不可能走到的地方。”

值得一提的是，除了達(dá)成光源功率這一里程碑，還有紫星光刻機(jī)工具跌對(duì)性能的大幅改善，以及產(chǎn)業(yè)界在布建紫星光刻機(jī)基礎(chǔ)建設(shè)方面的進(jìn)展也傳來(lái)捷報(bào)，包括光罩、光罩護(hù)膜以及光阻劑等。

隊(duì)伍里出了一些豬隊(duì)友，但大部分還是靠譜的。

極紫外光刻技術(shù)的突破，意味著摩爾定律的生命再次得到延續(xù)，但這不是一家兩家廠商能完成的，對(duì)于國(guó)產(chǎn)集成電路事業(yè)而言，外國(guó)人根本不帶你玩最高端的，只給你玩他們玩剩下的。

所以羅晟打造的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，只能自己一點(diǎn)一點(diǎn)的搞起來(lái)，光是資金就付出了國(guó)外競(jìng)爭(zhēng)者的五倍之多，還需要整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的材料、設(shè)備、知道等各大細(xì)分領(lǐng)域齊心協(xié)力，就像是團(tuán)隊(duì)游戲闖關(guān)一般解開(kāi)一道道技術(shù)難題，才能順利的朝著目的地前進(jìn)。

這其中的困難不是三言兩語(yǔ)就能概括的，期間團(tuán)隊(duì)的磨合、與上下游廠商的利益糾紛、技術(shù)上的分歧等等都是問(wèn)題，都要解決。

還有在此過(guò)程中像鵬星精密這種騙錢(qián)的豬隊(duì)友，這才是羅晟最氣的，騙他的錢(qián)無(wú)所謂，他有的是錢(qián)，但因?yàn)檫@個(gè)事情而耽誤了開(kāi)發(fā)進(jìn)度才是最無(wú)奈的。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與其它行業(yè)最大的不同點(diǎn)就是需要各大細(xì)分領(lǐng)域一起沖關(guān)，你這里掉個(gè)鏈子，其它環(huán)節(jié)沒(méi)問(wèn)題但為了等你不得不放下腳步，在此期間只能干瞪眼，木桶效應(yīng)在這個(gè)領(lǐng)域被放大。

顯然，這對(duì)于其它環(huán)節(jié)廠商來(lái)說(shuō)當(dāng)然是氣的罵娘。

“淳勝，你通知各技術(shù)部門(mén)負(fù)責(zé)人，十分鐘后開(kāi)個(gè)小會(huì)。”羅晟交代了一句便離開(kāi)了紫星光刻機(jī)無(wú)塵室。

“好的。”李淳勝。

不到十分鐘過(guò)后，蔚藍(lán)海岸實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部的一間休息室里，李淳勝通知了各大技術(shù)部門(mén)的負(fù)責(zé)人全都放下手頭工作來(lái)到了這里。

此刻，二十多人三三兩兩的在休息室里或坐著、或站著、或靠著墻面等等。

羅晟看著每一個(gè)人此刻都是容光煥發(fā)，喜上眉梢，畢竟今天的確是值得慶祝的時(shí)刻，外界還不知道國(guó)產(chǎn)集成電路事業(yè)已經(jīng)取得了里程碑式的突破，但他們這些處在第一線的科研人員都已經(jīng)知道了。

所有人都迫不及待的想要把這個(gè)振奮人心的消息向全國(guó)匯報(bào)。

“各位，這六年來(lái)，我在國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體事業(yè)上僅財(cái)務(wù)投入就已經(jīng)超過(guò)了3萬(wàn)億人民幣，其中僅光刻設(shè)備的研發(fā)投入就已經(jīng)超過(guò)了6600多個(gè)億，這都是‘補(bǔ)課費(fèi)’啊，也是用愛(ài)發(fā)電，不惜成本，講道理我已經(jīng)被掏空了，不會(huì)再有第二個(gè)3萬(wàn)億砸進(jìn)來(lái)了。”

羅晟這話引得眾人哄笑連連，國(guó)產(chǎn)集成電路事業(yè)這六年來(lái)默默蟄伏砥礪前行，自然是整個(gè)團(tuán)隊(duì)的功勞，但大家也都知道，能夠取得這種里程碑式的突破，離不開(kāi)羅晟這個(gè)人。

沒(méi)有他的魄力之舉，沒(méi)有他的資金支持和關(guān)鍵技術(shù)的支持，以及他強(qiáng)大的凝聚力把整個(gè)行業(yè)的頂尖人才匯聚在一起，國(guó)產(chǎn)集成電路事業(yè)想要取得今天的成績(jī)是絕對(duì)不可能實(shí)現(xiàn)的。

要輪最大的貢獻(xiàn)者是誰(shuí)，肯定是羅晟，對(duì)此沒(méi)有人不服。

羅晟接道：“所以，透過(guò)紫星光刻機(jī)正式邁入商用化是要提上日程了，不過(guò)在場(chǎng)的人都是搞技術(shù)的，商業(yè)化有別的團(tuán)隊(duì)會(huì)來(lái)搞，我們今天還是要談技術(shù)問(wèn)題，極紫外光刻機(jī)的突破并不意味著國(guó)產(chǎn)集成電路事業(yè)高端制造就已經(jīng)完全自主化咯，不怕告訴各位，我們至今為止才實(shí)現(xiàn)了40的目標(biāo)，還有60的目標(biāo)仍然有待攻克。”

此話一出算是把眾人從喜悅的氛圍中潑了一盆冷水，冷靜了下來(lái)。

是啊，半導(dǎo)體事業(yè)之所以難，就難在這里，前面仿佛有著永遠(yuǎn)闖不完的關(guān)卡，核心環(huán)節(jié)依然沒(méi)有實(shí)現(xiàn)全部國(guó)產(chǎn)自主化。

例如芯片的晶圓提純技術(shù)，目前國(guó)產(chǎn)相關(guān)廠商還沒(méi)有達(dá)到高精尖的地步，這個(gè)環(huán)節(jié)被日本的信越化工所壟斷的，全世界的高端芯片晶圓都用的是信越化工，如果他不給你高純度晶圓，整個(gè)行業(yè)依然是趴窩的狀態(tài)。

換句話說(shuō)，羅晟這3萬(wàn)億的投入依然不能實(shí)現(xiàn)整個(gè)國(guó)產(chǎn)高端芯片業(yè)的自主化，對(duì)方只要卡你個(gè)一年半載，錢(qián)就可能打水漂了。

還有其他關(guān)鍵環(huán)節(jié)也是。

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈自主化道路，任重道遠(yuǎn)。

羅晟沉聲道：“目前業(yè)界的消息是，明年抬積電和三星都已經(jīng)成功將EUV技術(shù)導(dǎo)入10納米并開(kāi)始量產(chǎn)，在高端芯片制造領(lǐng)域，我們現(xiàn)在已經(jīng)是處于頂尖梯隊(duì)了，光源搞定了，但一些技術(shù)和材料依然是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)，就是進(jìn)入摩爾定律新的篇章之后，9納米以下的工藝需要降低成本，分辨率更高的極紫外光刻膠技術(shù)。”

光刻膠，這就是下一個(gè)技術(shù)痛點(diǎn)了。

眾人也都猜到了羅晟要講什么了，如今的半導(dǎo)體工藝被推展至10納米制程，但是實(shí)現(xiàn)特定圖形變得越來(lái)越困難，并且多重曝光也帶來(lái)了生產(chǎn)成本的上升。

羅晟繼續(xù)道：“引入極紫外光刻技術(shù)后，其所扮演的角色是最新邏輯工藝的關(guān)鍵光刻層，在芯片制造商被引入之前，極紫外是有光刻機(jī)、光源、光刻膠和光掩膜組成。”

眾人默默的點(diǎn)頭，之前極紫外光刻技術(shù)的臨界多在光源，因?yàn)楣庠吹墓β什蛔銜?huì)影響芯片的生產(chǎn)效率。

而光源問(wèn)題解決之后，新的挑戰(zhàn)即是光刻膠技術(shù)的限制了。