科技手札 第17章 折服技術(shù)核心

這些天，于東一直在江州，保證5G射頻芯片投產(chǎn)就是他目前最大的工作，其他的一切都要往后靠。

產(chǎn)線改造完成試生產(chǎn)的這天，于東也是第一時間過來參觀。

“這……”繞著看起來頗有些丑陋的“注程機”，于東轉(zhuǎn)了好幾圈，完全看不明白這玩意兒究竟是如何工作的：“不是說跟光刻機的作用差不多嗎？這差別也太大了！”

光刻機非常笨重和復(fù)雜，一臺頂尖的光刻機管是安裝調(diào)試有時候都需要半年之久。但光科技的原理卻又很簡單，稍微有點專業(yè)知識的人就很容易能夠理解。

即便不是專業(yè)人士，那早一二十年，膠片洗照片的流程不難吧？

光刻機的原理跟那個洗黑白照片的家伙一模一樣，當(dāng)然了，精密度不是一個量級，光刻機要精密太多了。

而“注程機”就完全不一樣了，外觀看起來，它的結(jié)構(gòu)非常簡單，簡單到一覽無遺。

多數(shù)的元器件都是非常常見非常熟悉的，一看都認識。但這組合起來是怎么工作的來著？完全一頭懵。

除了康碩，沒人知道它具體是怎么工作的。

于東識趣的沒有開口問，他知道問了康碩也不可能告訴他，訕訕的壓下了內(nèi)心十足的好奇。

……

“現(xiàn)在進行的外圈的光刻過程，事實上跟傳統(tǒng)芯片的生產(chǎn)過程是完全一樣的，只不過，硅片從這里出來之后，進入封裝測試流程之前，需要多加一步‘注程’的步驟。”

這里的核心技術(shù)人員康碩都很熟悉，之前都是一起聊過很久的，他也是一步一步的幫助一線調(diào)試各類程序，給他們講解原有的，或者是新增的流程，這算是回歸上輩子的老本行——產(chǎn)線調(diào)試了。

“還有這兒，你們也都知道，滬都微電子的SSC600杠10系列光刻機，官方數(shù)據(jù)是能夠滿足12寸晶圓110nm精度光刻需求的。錫州一家公司，包括臺積電的金陵工廠，用同款的光刻機甚至實現(xiàn)了90nm級別的實驗室生產(chǎn)。”

康碩接著說道：“我們只能完成130nm的量產(chǎn)，問題在哪兒呢？這兒！掩膜版與與晶圓的對準(zhǔn)流程就是我們整個生產(chǎn)過程這個木桶最短的那根木板，解決了這個問題，至少達到官方數(shù)據(jù)的水準(zhǔn)，量產(chǎn)110nm是毫無問題的。”

聽康碩說這些，在場的技術(shù)核心內(nèi)心毫無波動。

材料熱脹冷縮的特性就會造成掩膜版和晶圓片的對準(zhǔn)精度誤差，他們早就發(fā)現(xiàn)了，也知道問題出在這兒。

但發(fā)現(xiàn)問題又能怎么樣？解決不了還不是白搭。

雖然之前聊的很好，很投機，康碩也很有水平，但一個沒有任何實操經(jīng)驗的本科生再有水平又能高到哪兒去呢？頂多跟他們差不多罷了。

所以，這些工程師們并不認為康碩能解決這個問題，聽康碩說這些的時候，他么的內(nèi)心甚至毫無波瀾。

康碩略一尋思，就知道這群人在想什么了，想當(dāng)年在公司里遇到大牛的時候，他內(nèi)心也如此嘀咕過來著，于是，他頓了頓，接著說道：“要想解決這個問題其實很簡單。”

“嗯？簡單？”幾名技術(shù)核心同時露出了茫然的神色：印象中，這孩子不是愛說大話的人吶！

“拿兩個標(biāo)準(zhǔn)片，使用同一組晶圓，一個對準(zhǔn)圖形的第一掩膜版，另一個對準(zhǔn)圖形的第二掩膜版。”

康碩沒有理會他們心里在嘀咕什么，事實勝于雄辯，他接著說道：“然后，我們沿光刻系統(tǒng)Y方向整體偏移，預(yù)設(shè)一個偏移距離，然后曝光顯影。

這個時候，分別測量第一標(biāo)準(zhǔn)片和第二標(biāo)準(zhǔn)片某個重復(fù)區(qū)域嵌套的圖形之間的相對偏移誤差，將第一誤差和第二誤差的差值作為掩膜版對準(zhǔn)圖形的補正參數(shù)，以此，我們就能減小這個誤差，提升整體的制造工藝。”

開始的時候，這些人還有些嗤之以鼻，但康碩越說他們越是心驚。

發(fā)現(xiàn)這個問題之后，他們不是沒有嘗試過去解決，也想了好些辦法，設(shè)計了好些方案。

但每一個方案都沒撐到實施階段，論證的時候就完全都被否了，理論都不通，實踐怎么可能會有效果呢？指望著瞎貓碰上死耗子嗎？根本不可能！

而這個時候，一群人在腦子里把康碩的方案從頭至尾，一個環(huán)節(jié)一個環(huán)節(jié)的全部過了一遍，竟然發(fā)現(xiàn)理論上真的行得通！

不僅如此，這種方案還具有通用性，而且還很便捷，成本也不高，至于準(zhǔn)確性，光從理論肯定判斷不出來，肯定要上實踐。

不管實施的結(jié)果怎么樣，康碩就已經(jīng)走到他們前邊了啊！

一群人，尤其是幾個技術(shù)核心看向康碩的眼神立刻不一樣了：他怎么對光刻的流程這么熟悉？現(xiàn)在的大學(xué)生都這么牛了嗎？

……

“你們準(zhǔn)備設(shè)備，我來更新調(diào)試對準(zhǔn)誤差補償量參數(shù)，我們現(xiàn)在就嘗試一下！”

其實不用嘗試，康碩對這種方法有著極度的自信，因為這本就是被證明過的實施方案。

當(dāng)然，只是在130nm~48nm這個區(qū)間有效，再往上，那就是另一個層次的事情了，影響因素會更多。

康碩有信心，但工廠的技術(shù)人員沒有啊，此刻，他們的內(nèi)心就像是貓爪子撓一般——急切的想要知道結(jié)果。

這個級別的技術(shù)也不算是什么核心，在工廠內(nèi)核心技術(shù)人員都簽署了保密協(xié)議和競業(yè)限制的情況下，康碩也就沒有藏著掖著，直接就帶著他們開搞了。

這一搞，就是不分晝夜。

……

“成功了！我們成功了！”

工廠里，一群絲毫不修邊幅的技術(shù)人員滿眼血絲，但他們神色激動，大聲驚呼。

幾乎是幾天不眠不休的奮戰(zhàn)，結(jié)果沒有令他們失望。

整套系統(tǒng)升級后，完美的實現(xiàn)了他們對對準(zhǔn)誤差補償調(diào)整的設(shè)想，他們成功的制作出第一批的110nm制程工藝的樣片，把整個工廠的技術(shù)能力提升了一個層次。

而這，全都是眼前的整個剛滿二十周歲的年輕人帶來的。

“老大！”

一群或大或小，但最小的也要比康碩大好幾歲的人心悅誠服的叫著康碩老大，技術(shù)領(lǐng)域里，那就是達者為先。