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713 搞出光刻機(jī),挺直腰桿子

作者:南柯一涼  分類(lèi): 都市 | 都市生活 | 明星 | 熱血 | 賺錢(qián) | 重生 | 南柯一涼 | 重生千禧大玩家 | 更多標(biāo)簽...
 
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重生千禧大玩家 713 搞出光刻機(jī),挺直腰桿子

“狼煙起,江山北望……”

酒店里,喝到爛醉如泥的高媛媛被手機(jī)鈴聲吵醒,迷迷糊糊地抬頭找了找,聲音來(lái)自床頭柜上的手機(jī),但手機(jī)的主人,不見(jiàn)蹤影。

“阿飛。”

高媛媛強(qiáng)撐著下床,走路綿軟無(wú)力。

“我在這兒?!?p/> 陸飛打開(kāi)浴室的大門(mén),坦蕩地沖她笑了下,接過(guò)手機(jī),“喂、欣姐。”

高媛媛洗了把臉,然后脫掉衣服,走進(jìn)淋浴間沖洗自己,流水聲嘩嘩作響。

“好,好,10點(diǎn)我就出發(fā)?!?p/> 陸飛坐在浴缸里,悠悠道:“欣姐,TVB這邊,就麻煩你陪媛媛處理了。”

高媛媛聽(tīng)到這話,精神大振,豎起耳朵。

“……歐洲那邊,不用擔(dān)心,我已經(jīng)讓布洛森24小時(shí)盯著,任何風(fēng)吹草動(dòng)都要匯報(bào)?!?p/> 陸飛抹了一把臉。

希臘的國(guó)債評(píng)級(jí)又被惠譽(yù)和標(biāo)準(zhǔn)普爾下調(diào),降到了垃圾級(jí),已經(jīng)到了必須歐盟兜底的地步,終于把債務(wù)危機(jī)擴(kuò)散到整個(gè)歐元區(qū)。

收割歐洲的時(shí)刻,馬上就要到了!

等兩人聊完掛斷電話,高媛媛才走出玻璃隔斷,幽幽說(shuō):“阿飛,我今天就不送你去機(jī)場(chǎng)了,唔,有點(diǎn)不舒服。”

“誰(shuí)讓你昨天喝了那么多酒?!?p/> 陸飛抓著她的手,拉入浴缸里。

心疼之余,不得不感慨高媛媛醉得真是時(shí)候,而且還不省人事,要不然也不能給自己創(chuàng)造機(jī)會(huì),夜里能跟曾麗單獨(dú)慶祝封后之喜。

大滿貫最好的獎(jiǎng)勵(lì),自然也是大滿灌。

”下次不會(huì)了?!?p/> 高媛媛意味深長(zhǎng)地白了眼,“曾麗姐她們有沒(méi)有跟你說(shuō)今天坐你的飛機(jī)去鵬城。”

“說(shuō)了……嗎,我怎么不知道?!?p/> 陸飛一個(gè)激靈。

“那我現(xiàn)在跟你說(shuō),你不會(huì)介意吧?”

高媛媛得留下來(lái),跟徐欣完成TVB最后的收購(gòu)簽約儀式,楊蜜、景恬則繼續(xù)自己的好萊塢征程,而曾麗、劉師師她們回內(nèi)地。

“怎么會(huì)。”

陸飛笑道:“不過(guò)我聽(tīng)說(shuō)師師拍完《步步驚心》之后,狀態(tài)不對(duì),有沒(méi)有這回事?”

“蜜蜜、恬恬她們跟你說(shuō)的吧。”

高媛媛點(diǎn)了下頭,“師師可能陷進(jìn)角色里還沒(méi)有出來(lái),對(duì)吳奇龍的感情有點(diǎn)復(fù)雜?!?p/> “這可不符合我們‘四小花旦’的造星計(jì)劃。”陸飛一本正經(jīng)地說(shuō)。

“放心吧,虹姐已經(jīng)警告過(guò)吳奇龍團(tuán)隊(duì)?!备哝骆驴吭谒膽牙?,“早餐叫了嗎?沒(méi)有的話,吃了再走吧?!?p/> “當(dāng)然吃了再走,不過(guò)呢,先吃你!”

陸飛嘿然一笑,“把昨天的夜宵補(bǔ)上?!?p/> “嗚嗚嗚~”

跟曾麗她們暫時(shí)分別,陸飛坐上車(chē),馬不停蹄地趕到邏輯,孫紅軍早就在門(mén)口等候。

“他們?nèi)四???p/> “陸總,都在中心呢?!?p/> 一行人驅(qū)車(chē)來(lái)到僻靜的三體實(shí)驗(yàn)基地,沿途布滿了安保人員,路的盡頭是一間占地上萬(wàn)畝的新建廠房,表面看上去,非常不起眼。

一下車(chē),來(lái)到換裝間,陸飛就看到已經(jīng)穿著防塵服的梁孟松、尹志堯,以及職工。

蘇姿豐、胡煜華、孟婉舟這些邏輯的上將,即便半步踏入輪值董事會(huì),也沒(méi)有資格第一時(shí)間參觀,消息還封鎖在最高統(tǒng)帥部一級(jí)。

“陸總?!?p/> 梁孟松、尹志堯等人喊了一聲。

“走吧?!?p/> 陸飛換好裝備,穿過(guò)走廊,墻壁上掛著華夏第一枚原子彈跟氫彈的當(dāng)天報(bào)紙和照片。

頭頂,懸掛著一條條橫幅,都是激勵(lì)士氣的口號(hào)語(yǔ),其中最顯眼的莫過(guò)于——

“搞出光刻機(jī),挺直腰桿子!”

“陸總,這就是我們自主研發(fā)的65nArF干式光刻機(jī),由邏輯、滬市微電子、長(zhǎng)春光機(jī)、華為等多家單位、上千家供應(yīng)商聯(lián)合攻克,下一步就是預(yù)生產(chǎn),在生產(chǎn)中不斷改進(jìn)完善,然后逐步實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)化?!?p/> 孫紅軍興奮至極,“預(yù)計(jì)一到兩年,就能全部替代掉ASML和尼康的65n光刻機(jī)?!?p/> “還是自己的機(jī)器香??!”

陸飛透過(guò)玻璃,看著工作人員有條不紊地操作,余光里注意到尹志堯等人的情緒很不對(duì)勁,“這么難得的好日子,你們?cè)趺纯瓷先ゲ皇呛芨吲d啊,難道是光刻機(jī)還有什么質(zhì)量上的問(wèn)題,或者技術(shù)上的缺陷?”

“陸總,設(shè)備沒(méi)有問(wèn)題,技術(shù)也沒(méi)有問(wèn)題,就是……就是有一個(gè)壞消息……”

尹志堯一臉為難。

“什么壞消息?”

陸飛鼓勵(lì)道:“沒(méi)關(guān)系,說(shuō)出來(lái),不說(shuō)出來(lái),我們又怎么想辦法解決呢?”

“陸總,ASML研發(fā)出了全球第一臺(tái)EUV光刻機(jī),已經(jīng)送到三星的研究機(jī)構(gòu)預(yù)生產(chǎn)。”

尹志堯無(wú)奈地嘆了口氣。

“你看你,又急?!?p/> 陸飛挑了挑眉,倍感意外,這么湊巧!

EUV光刻機(jī)的出現(xiàn),相當(dāng)于光刻機(jī)技術(shù)和設(shè)備正式發(fā)展到第五代,遙遙領(lǐng)先于他們。

第一代光刻機(jī)是以436n的gle汞燈光源為主,只適用于5μ以上制程。

之后出現(xiàn)了365n的ile汞燈光源的第二代光刻機(jī),制程精度來(lái)到了350到500n。

這兩代都只能算是接近式光刻機(jī),到了第三代掃描投影式光刻機(jī),才實(shí)現(xiàn)了跨越式的突破,把最小工藝推進(jìn)至150到250n。

他們生產(chǎn)的65nArF干式光刻機(jī),算是第四代,也就是步進(jìn)式投影式光刻機(jī),制程工藝最高可以推進(jìn)到65n,想要更上一層——

就得用到浸入技術(shù),也就是讓鏡頭和硅片之間的空間浸泡于液體之中,在此基礎(chǔ)上,就有了四代半的浸入步進(jìn)式投影式光刻機(jī)。

本來(lái),邏輯跟ASML這些國(guó)際一線的光刻機(jī)廠商,就只剩ArFi這么個(gè)半代差距。

但EUV光刻機(jī)一出現(xiàn),又把這個(gè)差距拉到了至少1.5代,而且這個(gè)技術(shù)差距,不像制程工藝那么好追,是整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的全面落后。

“不是我急,陸總,一旦EUV預(yù)生產(chǎn)成功的話,英特爾、三星、臺(tái)積電也許不出三五年,就能得到EUV光刻機(jī)的生產(chǎn)線……”

尹志堯話里無(wú)不透著焦慮。

“尹教授,這臺(tái)EUV,ASML、三星、英特爾、蔡司、臺(tái)積電它們花了多久才研制出來(lái)?”陸飛透過(guò)面罩的玻璃,直直看去。

“從林本堅(jiān)提出浸潤(rùn)式微影技術(shù)的理論,到現(xiàn)在,大概十三、十四年?!?p/> 梁孟松站出來(lái)回答。

“對(duì)嘛,這不就結(jié)了?!?p/> 陸飛拍了拍尹志堯的肩膀,“EUV集歐美日韓這么多全球最頂尖的半導(dǎo)體公司和人才,也要花13年的時(shí)間,何況是我們呢!”

“陸總說(shuō)的沒(méi)毛??!”

孫紅軍機(jī)敏地當(dāng)捧哏。

“咱們研究起步晚,技術(shù)經(jīng)驗(yàn)積累少,人才還不夠不精,再加上特么的技術(shù)封鎖,能在這么短的時(shí)間,攻克65nArF干式光刻機(jī),就已經(jīng)很不正常了,再快就該拍科幻片了?!?p/> 陸飛笑道:“落后不可怕,可怕的是不追趕,你看我們現(xiàn)在,已經(jīng)步入正軌了。”

“可不是嘛,快趕上小霓虹了!”

孫紅軍嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈錯(cuò)了氫能,在光刻機(jī)路線上,不去梭哈濕刻法,而是全力押注干刻法,卻失敗了,白白耗費(fèi)人力財(cái)力時(shí)間。

今后,邏輯的光刻機(jī)就可以跟尼康、佳能競(jìng)爭(zhēng)低端光刻機(jī)市場(chǎng),先干翻了小霓虹!

“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先別急,ArFi會(huì)有的,EUV也會(huì)有的!”

陸飛環(huán)顧四周,激勵(lì)士氣。

“陸總!”

尹志堯鄭重地點(diǎn)了下頭,他作為中微半導(dǎo)體的領(lǐng)軍人,非常清楚邏輯是兩條腿走路,既跟微電子為首的單位合作ArFi光刻機(jī),又跟長(zhǎng)春光機(jī)為主的科研所研究EUV光刻機(jī)。

而且滿世界找?guī)褪郑热鐝瓶ā?p/> “老孫,這次的獎(jiǎng)勵(lì)方案做出來(lái)了嘛?”

陸飛側(cè)目望向?qū)O紅軍。

“已經(jīng)擬出個(gè)初步方案,就等您來(lái)定?!?p/> 孫紅軍應(yīng)了一聲。

“嗯,但凡這次參與光刻機(jī)項(xiàng)目的,哪怕是擰了個(gè)螺絲的,也要多發(fā)獎(jiǎng)金!”

陸飛雙手叉腰,“65n有了,還怕沒(méi)有ArFi?沒(méi)有EUV?接下來(lái)我們就向32n、28n,甚至28n以下的發(fā)起沖擊,不管是10年、20年,還是多長(zhǎng)時(shí)間,也要搞出來(lái)!把這顆工業(yè)明珠給我摘下來(lái),當(dāng)彈珠賣(mài)!”

“我就是怕耽誤了先進(jìn)制程工藝的進(jìn)程,畢竟我們買(mǎi)不到最先進(jìn)的DUV光刻機(jī)。”

尹志堯臉上露出一絲愧疚。

“梁博士,你的意思呢?”

陸飛把目光投向梁孟松。

“陸總放心,難度肯定是有的,但我可以保證,32n,今年下半年就能風(fēng)險(xiǎn)性試產(chǎn)。”

梁孟松話鋒一轉(zhuǎn),說(shuō)出難題。

芯片代工制造的過(guò)程非常復(fù)雜,需要多方面的技術(shù)和設(shè)備支持,就像14n是個(gè)關(guān)鍵的分界線,28n也是個(gè)關(guān)鍵的分界線。

但設(shè)備還不是他最擔(dān)心的,他最擔(dān)心的是中芯被臺(tái)積電打倒之后,下一個(gè)就輪到邏輯。

“這種情況我不是沒(méi)有考慮?!?p/> 陸飛擺了擺手:“所以才把邏輯、澎拜的三分之一的產(chǎn)能放在臺(tái)積電,就是讓章忠謀顧慮,既想對(duì)付我們,又怕失去我們的訂單?!?p/> “可按我對(duì)章忠謀的了解,肯定不會(huì)善罷甘休?!绷好纤蓱n心道,“另外還有三星……”

陸飛笑道:“梁博士,三星現(xiàn)在的技術(shù)負(fù)責(zé)人還是蔣尚義,哪怕拿到了EUV光刻機(jī),你覺(jué)得他有這個(gè)能力帶領(lǐng)三星沖擊制程嗎?”

“沒(méi)有!”

梁孟松想也不想,“沒(méi)這個(gè)可能!”

“對(duì)嘛,就連40/45n工藝,三星還是靠我們,很難說(shuō)不會(huì)又在一個(gè)節(jié)點(diǎn)上卡住,難以突破?!标戯w嚴(yán)肅說(shuō),“這么一比,臺(tái)積電才是我們最大的敵人!不管現(xiàn)在,還是將來(lái)!”

“臺(tái)積電那邊計(jì)劃今年過(guò)渡到32n,然后最早在明年轉(zhuǎn)向28n,我們的進(jìn)度并不比臺(tái)積電慢?!绷好纤勺孕艥M滿。

“梁博士,假如,我是說(shuō)假如,假如沒(méi)有最先進(jìn)的代工廠給邏輯造芯片,假如邏輯還造不出比較先進(jìn)的光刻機(jī),假如……”

陸飛把前世華為遭到的打壓說(shuō)了一遍。

“陸總,這種極限施壓情況下,也不是沒(méi)有辦法,可以考慮多重曝光技術(shù)?!?p/> 梁孟松沉吟片刻,一一列出優(yōu)缺點(diǎn)。

尤其是缺點(diǎn),雖然經(jīng)過(guò)多重曝光工藝,可以改變光刻機(jī)的制程極限,但良品率低。

而且每次曝光都需要校準(zhǔn),而對(duì)準(zhǔn)誤差會(huì)在多次曝光中積累,進(jìn)而影響芯片的質(zhì)量。

“除了損耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻膠、耗材和設(shè)備,這個(gè)投入可能……”

不等梁孟松往下說(shuō),孫紅軍突然打斷。

陸飛和他相視一笑,光刻機(jī)的光刻膠等材料,早就納入備胎計(jì)劃。

“梁博士、尹教授,我們已經(jīng)投資了博康化學(xué)等十幾家公司,研發(fā)攻克光刻膠這些重要材料?!睂O紅軍笑說(shuō),“而且找了德國(guó)的明斯特、亞琛工業(yè)等多家高校,跟我們國(guó)內(nèi)的科研院校,合力打破霓虹這方面的優(yōu)勢(shì)。”

“???”

梁孟松和尹志堯面面相覷。

“這是公司的絕密,注意保密?!?p/> 陸飛鄭重地叮囑,現(xiàn)在需要偷偷摸摸地發(fā)育,特別是光刻機(jī),最缺的就是發(fā)育時(shí)間。

“陸總,孫總,你們放心!”

梁孟松信誓旦旦地保證,就算臺(tái)積電、三星的光刻機(jī)領(lǐng)先邏輯,哪怕制程工藝先突破28n,甚至20n也無(wú)妨,他能想辦法從28n,跨越22n、20n,直接到14n。

把因?yàn)楣饪虣C(jī)設(shè)備和技術(shù)封鎖而落后的代差跟時(shí)間,統(tǒng)統(tǒng)給追回來(lái)!

“是不是又要跳代?”

陸飛把眼睛瞇成一條縫。

梁孟松點(diǎn)頭說(shuō):“只要尹總能造出28n光刻機(jī)就夠了,別是14n,就是7n,我也能你們給搓出來(lái)!把光刻機(jī)上的劣勢(shì)給扳回來(lái)!就是不知道陸總敢不敢再跟我拼一次?”

“有什么不敢?”

“拼,只管給我拼!不要給我心疼錢(qián),我最不怕花錢(qián),但最怕你們不花錢(qián)。”陸飛睨了眼孫紅軍,“老孫,除了德國(guó),霓虹那邊也盯緊點(diǎn),特別是佳能、尼康的動(dòng)靜?!?p/> “尼康那邊好像認(rèn)命了,倒是佳能,選擇了另一條道路,研究納米壓?。∟IL)。”

孫紅軍也說(shuō)不出個(gè)所以然。

陸飛讓他再探再報(bào),跟進(jìn)佳能的NIL路線,然后冷不丁來(lái)一句,“光刻廠有沒(méi)有搞頭?”

“什么?!”

梁孟松等人一臉震驚。

光刻廠?

只聽(tīng)過(guò)光刻機(jī),光刻廠是什么東西?

“咳咳,我是這么想的,ASML的光刻機(jī),為了賣(mài)出去,才要小型化、產(chǎn)品化、量產(chǎn)化,這個(gè)難度很大,但如果我們把光刻機(jī)不做小,而是當(dāng)基礎(chǔ)設(shè)施來(lái)蓋,比如一個(gè)足球場(chǎng)大小,是不是可以彌補(bǔ)光源、鏡片這些問(wèn)題?”

陸飛看他們一臉茫然,于是換種說(shuō)法。

相當(dāng)于造不出熱水器,就建個(gè)鍋爐房,然后接水龍頭,一次性接十幾個(gè),能放出428n、14n、7n這些不同溫度的水。

“這個(gè)提法,我好像在哪里聽(tīng)過(guò)……”

梁孟松吸了一口氣,思索了片刻,突然靈光一現(xiàn),“對(duì),水木!水木大學(xué)有篇論文!”

“真有?”

孫紅軍、尹志堯簡(jiǎn)直不敢相信。

“不過(guò)只是一個(gè)概念,叫穩(wěn)態(tài)微聚束加速器光源,也叫SSMB。”梁孟松解釋說(shuō),“我關(guān)注這個(gè),還是因?yàn)樘岢鲞@個(gè)概念的教授,是楊振檸先生的弟子,可行性還有待檢驗(yàn)。”

“只要有可能,就值得投資?!?p/> 陸飛計(jì)劃去趟水木大學(xué),順便把自己存那里一直沒(méi)時(shí)間取的EMBA碩士證書(shū)給領(lǐng)了。

“陸總,在這之前,我們是不是先去見(jiàn)見(jiàn)章汝京?章總一直在等您從香江回來(lái)?!?p/> 孫紅軍提醒了句,年初中芯跟臺(tái)積電長(zhǎng)達(dá)六七年的國(guó)際訴訟,達(dá)成和解,但作為條件之一,章汝京不得不被迫辭職,離開(kāi)中芯。

“E,見(jiàn),必須見(jiàn)!”

陸飛叮囑安排兩人見(jiàn)面的行程計(jì)劃。

有個(gè)項(xiàng)目,非他這位老帥不可!


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