重生千禧大玩家 713 搞出光刻機(jī),挺直腰桿子

“狼煙起，江山北望……”

酒店里，喝到爛醉如泥的高媛媛被手機(jī)鈴聲吵醒，迷迷糊糊地抬頭找了找，聲音來(lái)自床頭柜上的手機(jī)，但手機(jī)的主人，不見(jiàn)蹤影。

“阿飛。”

高媛媛強(qiáng)撐著下床，走路綿軟無(wú)力。

“我在這兒?！?p/> 陸飛打開(kāi)浴室的大門(mén)，坦蕩地沖她笑了下，接過(guò)手機(jī)，“喂、欣姐。”

高媛媛洗了把臉，然后脫掉衣服，走進(jìn)淋浴間沖洗自己，流水聲嘩嘩作響。

“好，好，10點(diǎn)我就出發(fā)?！?p/> 陸飛坐在浴缸里，悠悠道：“欣姐，TVB這邊，就麻煩你陪媛媛處理了。”

高媛媛聽(tīng)到這話，精神大振，豎起耳朵。

“……歐洲那邊，不用擔(dān)心，我已經(jīng)讓布洛森24小時(shí)盯著，任何風(fēng)吹草動(dòng)都要匯報(bào)?！?p/> 陸飛抹了一把臉。

希臘的國(guó)債評(píng)級(jí)又被惠譽(yù)和標(biāo)準(zhǔn)普爾下調(diào)，降到了垃圾級(jí)，已經(jīng)到了必須歐盟兜底的地步，終于把債務(wù)危機(jī)擴(kuò)散到整個(gè)歐元區(qū)。

收割歐洲的時(shí)刻，馬上就要到了！

等兩人聊完掛斷電話，高媛媛才走出玻璃隔斷，幽幽說(shuō)：“阿飛，我今天就不送你去機(jī)場(chǎng)了，唔，有點(diǎn)不舒服。”

“誰(shuí)讓你昨天喝了那么多酒?！?p/> 陸飛抓著她的手，拉入浴缸里。

心疼之余，不得不感慨高媛媛醉得真是時(shí)候，而且還不省人事，要不然也不能給自己創(chuàng)造機(jī)會(huì)，夜里能跟曾麗單獨(dú)慶祝封后之喜。

大滿貫最好的獎(jiǎng)勵(lì)，自然也是大滿灌。

”下次不會(huì)了?！?p/> 高媛媛意味深長(zhǎng)地白了眼，“曾麗姐她們有沒(méi)有跟你說(shuō)今天坐你的飛機(jī)去鵬城。”

“說(shuō)了……嗎，我怎么不知道?！?p/> 陸飛一個(gè)激靈。

“那我現(xiàn)在跟你說(shuō)，你不會(huì)介意吧？”

高媛媛得留下來(lái)，跟徐欣完成TVB最后的收購(gòu)簽約儀式，楊蜜、景恬則繼續(xù)自己的好萊塢征程，而曾麗、劉師師她們回內(nèi)地。

“怎么會(huì)。”

陸飛笑道：“不過(guò)我聽(tīng)說(shuō)師師拍完《步步驚心》之后，狀態(tài)不對(duì)，有沒(méi)有這回事？”

“蜜蜜、恬恬她們跟你說(shuō)的吧。”

高媛媛點(diǎn)了下頭，“師師可能陷進(jìn)角色里還沒(méi)有出來(lái)，對(duì)吳奇龍的感情有點(diǎn)復(fù)雜?！?p/> “這可不符合我們‘四小花旦’的造星計(jì)劃。”陸飛一本正經(jīng)地說(shuō)。

“放心吧，虹姐已經(jīng)警告過(guò)吳奇龍團(tuán)隊(duì)?！备哝骆驴吭谒膽牙?，“早餐叫了嗎？沒(méi)有的話，吃了再走吧?！?p/> “當(dāng)然吃了再走，不過(guò)呢，先吃你！”

陸飛嘿然一笑，“把昨天的夜宵補(bǔ)上?！?p/> “嗚嗚嗚～”

跟曾麗她們暫時(shí)分別，陸飛坐上車(chē)，馬不停蹄地趕到邏輯，孫紅軍早就在門(mén)口等候。

“他們?nèi)四?？?p/> “陸總，都在中心呢?！?p/> 一行人驅(qū)車(chē)來(lái)到僻靜的三體實(shí)驗(yàn)基地，沿途布滿了安保人員，路的盡頭是一間占地上萬(wàn)畝的新建廠房，表面看上去，非常不起眼。

一下車(chē)，來(lái)到換裝間，陸飛就看到已經(jīng)穿著防塵服的梁孟松、尹志堯，以及職工。

蘇姿豐、胡煜華、孟婉舟這些邏輯的上將，即便半步踏入輪值董事會(huì)，也沒(méi)有資格第一時(shí)間參觀，消息還封鎖在最高統(tǒng)帥部一級(jí)。

“陸總?！?p/> 梁孟松、尹志堯等人喊了一聲。

“走吧?！?p/> 陸飛換好裝備，穿過(guò)走廊，墻壁上掛著華夏第一枚原子彈跟氫彈的當(dāng)天報(bào)紙和照片。

頭頂，懸掛著一條條橫幅，都是激勵(lì)士氣的口號(hào)語(yǔ)，其中最顯眼的莫過(guò)于——

“搞出光刻機(jī)，挺直腰桿子！”

“陸總，這就是我們自主研發(fā)的65nArF干式光刻機(jī)，由邏輯、滬市微電子、長(zhǎng)春光機(jī)、華為等多家單位、上千家供應(yīng)商聯(lián)合攻克，下一步就是預(yù)生產(chǎn)，在生產(chǎn)中不斷改進(jìn)完善，然后逐步實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)化?！?p/> 孫紅軍興奮至極，“預(yù)計(jì)一到兩年，就能全部替代掉ASML和尼康的65n光刻機(jī)?！?p/> “還是自己的機(jī)器香??！”

陸飛透過(guò)玻璃，看著工作人員有條不紊地操作，余光里注意到尹志堯等人的情緒很不對(duì)勁，“這么難得的好日子，你們?cè)趺纯瓷先ゲ皇呛芨吲d啊，難道是光刻機(jī)還有什么質(zhì)量上的問(wèn)題，或者技術(shù)上的缺陷？”

“陸總，設(shè)備沒(méi)有問(wèn)題，技術(shù)也沒(méi)有問(wèn)題，就是……就是有一個(gè)壞消息……”

尹志堯一臉為難。

“什么壞消息？”

陸飛鼓勵(lì)道：“沒(méi)關(guān)系，說(shuō)出來(lái)，不說(shuō)出來(lái)，我們又怎么想辦法解決呢？”

“陸總，ASML研發(fā)出了全球第一臺(tái)EUV光刻機(jī)，已經(jīng)送到三星的研究機(jī)構(gòu)預(yù)生產(chǎn)。”

尹志堯無(wú)奈地嘆了口氣。

“你看你，又急?！?p/> 陸飛挑了挑眉，倍感意外，這么湊巧！

EUV光刻機(jī)的出現(xiàn)，相當(dāng)于光刻機(jī)技術(shù)和設(shè)備正式發(fā)展到第五代，遙遙領(lǐng)先于他們。

第一代光刻機(jī)是以436n的gle汞燈光源為主，只適用于5μ以上制程。

之后出現(xiàn)了365n的ile汞燈光源的第二代光刻機(jī)，制程精度來(lái)到了350到500n。

這兩代都只能算是接近式光刻機(jī)，到了第三代掃描投影式光刻機(jī)，才實(shí)現(xiàn)了跨越式的突破，把最小工藝推進(jìn)至150到250n。

他們生產(chǎn)的65nArF干式光刻機(jī)，算是第四代，也就是步進(jìn)式投影式光刻機(jī)，制程工藝最高可以推進(jìn)到65n，想要更上一層——

就得用到浸入技術(shù)，也就是讓鏡頭和硅片之間的空間浸泡于液體之中，在此基礎(chǔ)上，就有了四代半的浸入步進(jìn)式投影式光刻機(jī)。

本來(lái)，邏輯跟ASML這些國(guó)際一線的光刻機(jī)廠商，就只剩ArFi這么個(gè)半代差距。

但EUV光刻機(jī)一出現(xiàn)，又把這個(gè)差距拉到了至少1.5代，而且這個(gè)技術(shù)差距，不像制程工藝那么好追，是整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的全面落后。

“不是我急，陸總，一旦EUV預(yù)生產(chǎn)成功的話，英特爾、三星、臺(tái)積電也許不出三五年，就能得到EUV光刻機(jī)的生產(chǎn)線……”

尹志堯話里無(wú)不透著焦慮。

“尹教授，這臺(tái)EUV，ASML、三星、英特爾、蔡司、臺(tái)積電它們花了多久才研制出來(lái)？”陸飛透過(guò)面罩的玻璃，直直看去。

“從林本堅(jiān)提出浸潤(rùn)式微影技術(shù)的理論，到現(xiàn)在，大概十三、十四年?！?p/> 梁孟松站出來(lái)回答。

“對(duì)嘛，這不就結(jié)了?！?p/> 陸飛拍了拍尹志堯的肩膀，“EUV集歐美日韓這么多全球最頂尖的半導(dǎo)體公司和人才，也要花13年的時(shí)間，何況是我們呢！”

“陸總說(shuō)的沒(méi)毛??！”

孫紅軍機(jī)敏地當(dāng)捧哏。

“咱們研究起步晚，技術(shù)經(jīng)驗(yàn)積累少，人才還不夠不精，再加上特么的技術(shù)封鎖，能在這么短的時(shí)間，攻克65nArF干式光刻機(jī)，就已經(jīng)很不正常了，再快就該拍科幻片了?！?p/> 陸飛笑道：“落后不可怕，可怕的是不追趕，你看我們現(xiàn)在，已經(jīng)步入正軌了。”

“可不是嘛，快趕上小霓虹了！”

孫紅軍嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈錯(cuò)了氫能，在光刻機(jī)路線上，不去梭哈濕刻法，而是全力押注干刻法，卻失敗了，白白耗費(fèi)人力財(cái)力時(shí)間。

今后，邏輯的光刻機(jī)就可以跟尼康、佳能競(jìng)爭(zhēng)低端光刻機(jī)市場(chǎng)，先干翻了小霓虹！

“所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先別急，ArFi會(huì)有的，EUV也會(huì)有的！”

陸飛環(huán)顧四周，激勵(lì)士氣。

“陸總！”

尹志堯鄭重地點(diǎn)了下頭，他作為中微半導(dǎo)體的領(lǐng)軍人，非常清楚邏輯是兩條腿走路，既跟微電子為首的單位合作ArFi光刻機(jī)，又跟長(zhǎng)春光機(jī)為主的科研所研究EUV光刻機(jī)。

而且滿世界找?guī)褪郑热鐝瓶ā?p/> “老孫，這次的獎(jiǎng)勵(lì)方案做出來(lái)了嘛？”

陸飛側(cè)目望向?qū)O紅軍。

“已經(jīng)擬出個(gè)初步方案，就等您來(lái)定?！?p/> 孫紅軍應(yīng)了一聲。

“嗯，但凡這次參與光刻機(jī)項(xiàng)目的，哪怕是擰了個(gè)螺絲的，也要多發(fā)獎(jiǎng)金！”

陸飛雙手叉腰，“65n有了，還怕沒(méi)有ArFi？沒(méi)有EUV？接下來(lái)我們就向32n、28n，甚至28n以下的發(fā)起沖擊，不管是10年、20年，還是多長(zhǎng)時(shí)間，也要搞出來(lái)！把這顆工業(yè)明珠給我摘下來(lái)，當(dāng)彈珠賣(mài)！”

“我就是怕耽誤了先進(jìn)制程工藝的進(jìn)程，畢竟我們買(mǎi)不到最先進(jìn)的DUV光刻機(jī)。”

尹志堯臉上露出一絲愧疚。

“梁博士，你的意思呢？”

陸飛把目光投向梁孟松。

“陸總放心，難度肯定是有的，但我可以保證，32n，今年下半年就能風(fēng)險(xiǎn)性試產(chǎn)。”

梁孟松話鋒一轉(zhuǎn)，說(shuō)出難題。

芯片代工制造的過(guò)程非常復(fù)雜，需要多方面的技術(shù)和設(shè)備支持，就像14n是個(gè)關(guān)鍵的分界線，28n也是個(gè)關(guān)鍵的分界線。

但設(shè)備還不是他最擔(dān)心的，他最擔(dān)心的是中芯被臺(tái)積電打倒之后，下一個(gè)就輪到邏輯。

“這種情況我不是沒(méi)有考慮?！?p/> 陸飛擺了擺手：“所以才把邏輯、澎拜的三分之一的產(chǎn)能放在臺(tái)積電，就是讓章忠謀顧慮，既想對(duì)付我們，又怕失去我們的訂單?！?p/> “可按我對(duì)章忠謀的了解，肯定不會(huì)善罷甘休?！绷好纤蓱n心道，“另外還有三星……”

陸飛笑道：“梁博士，三星現(xiàn)在的技術(shù)負(fù)責(zé)人還是蔣尚義，哪怕拿到了EUV光刻機(jī)，你覺(jué)得他有這個(gè)能力帶領(lǐng)三星沖擊制程嗎？”

“沒(méi)有！”

梁孟松想也不想，“沒(méi)這個(gè)可能！”

“對(duì)嘛，就連40/45n工藝，三星還是靠我們，很難說(shuō)不會(huì)又在一個(gè)節(jié)點(diǎn)上卡住，難以突破?！标戯w嚴(yán)肅說(shuō)，“這么一比，臺(tái)積電才是我們最大的敵人！不管現(xiàn)在，還是將來(lái)！”

“臺(tái)積電那邊計(jì)劃今年過(guò)渡到32n，然后最早在明年轉(zhuǎn)向28n，我們的進(jìn)度并不比臺(tái)積電慢?！绷好纤勺孕艥M滿。

“梁博士，假如，我是說(shuō)假如，假如沒(méi)有最先進(jìn)的代工廠給邏輯造芯片，假如邏輯還造不出比較先進(jìn)的光刻機(jī)，假如……”

陸飛把前世華為遭到的打壓說(shuō)了一遍。

“陸總，這種極限施壓情況下，也不是沒(méi)有辦法，可以考慮多重曝光技術(shù)?！?p/> 梁孟松沉吟片刻，一一列出優(yōu)缺點(diǎn)。

尤其是缺點(diǎn)，雖然經(jīng)過(guò)多重曝光工藝，可以改變光刻機(jī)的制程極限，但良品率低。

而且每次曝光都需要校準(zhǔn)，而對(duì)準(zhǔn)誤差會(huì)在多次曝光中積累，進(jìn)而影響芯片的質(zhì)量。

“除了損耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻膠、耗材和設(shè)備，這個(gè)投入可能……”

不等梁孟松往下說(shuō)，孫紅軍突然打斷。

陸飛和他相視一笑，光刻機(jī)的光刻膠等材料，早就納入備胎計(jì)劃。

“梁博士、尹教授，我們已經(jīng)投資了博康化學(xué)等十幾家公司，研發(fā)攻克光刻膠這些重要材料?！睂O紅軍笑說(shuō)，“而且找了德國(guó)的明斯特、亞琛工業(yè)等多家高校，跟我們國(guó)內(nèi)的科研院校，合力打破霓虹這方面的優(yōu)勢(shì)。”

“??？”

梁孟松和尹志堯面面相覷。

“這是公司的絕密，注意保密?！?p/> 陸飛鄭重地叮囑，現(xiàn)在需要偷偷摸摸地發(fā)育，特別是光刻機(jī)，最缺的就是發(fā)育時(shí)間。

“陸總，孫總，你們放心！”

梁孟松信誓旦旦地保證，就算臺(tái)積電、三星的光刻機(jī)領(lǐng)先邏輯，哪怕制程工藝先突破28n，甚至20n也無(wú)妨，他能想辦法從28n，跨越22n、20n，直接到14n。

把因?yàn)楣饪虣C(jī)設(shè)備和技術(shù)封鎖而落后的代差跟時(shí)間，統(tǒng)統(tǒng)給追回來(lái)！

“是不是又要跳代？”

陸飛把眼睛瞇成一條縫。

梁孟松點(diǎn)頭說(shuō)：“只要尹總能造出28n光刻機(jī)就夠了，別是14n，就是7n，我也能你們給搓出來(lái)！把光刻機(jī)上的劣勢(shì)給扳回來(lái)！就是不知道陸總敢不敢再跟我拼一次？”

“有什么不敢？”

“拼，只管給我拼！不要給我心疼錢(qián)，我最不怕花錢(qián)，但最怕你們不花錢(qián)。”陸飛睨了眼孫紅軍，“老孫，除了德國(guó)，霓虹那邊也盯緊點(diǎn)，特別是佳能、尼康的動(dòng)靜?！?p/> “尼康那邊好像認(rèn)命了，倒是佳能，選擇了另一條道路，研究納米壓?。∟IL）。”

孫紅軍也說(shuō)不出個(gè)所以然。

陸飛讓他再探再報(bào)，跟進(jìn)佳能的NIL路線，然后冷不丁來(lái)一句，“光刻廠有沒(méi)有搞頭？”

“什么？！”

梁孟松等人一臉震驚。

光刻廠？

只聽(tīng)過(guò)光刻機(jī)，光刻廠是什么東西？

“咳咳，我是這么想的，ASML的光刻機(jī)，為了賣(mài)出去，才要小型化、產(chǎn)品化、量產(chǎn)化，這個(gè)難度很大，但如果我們把光刻機(jī)不做小，而是當(dāng)基礎(chǔ)設(shè)施來(lái)蓋，比如一個(gè)足球場(chǎng)大小，是不是可以彌補(bǔ)光源、鏡片這些問(wèn)題？”

陸飛看他們一臉茫然，于是換種說(shuō)法。

相當(dāng)于造不出熱水器，就建個(gè)鍋爐房，然后接水龍頭，一次性接十幾個(gè)，能放出428n、14n、7n這些不同溫度的水。

“這個(gè)提法，我好像在哪里聽(tīng)過(guò)……”

梁孟松吸了一口氣，思索了片刻，突然靈光一現(xiàn)，“對(duì)，水木！水木大學(xué)有篇論文！”

“真有？”

孫紅軍、尹志堯簡(jiǎn)直不敢相信。

“不過(guò)只是一個(gè)概念，叫穩(wěn)態(tài)微聚束加速器光源，也叫SSMB。”梁孟松解釋說(shuō)，“我關(guān)注這個(gè)，還是因?yàn)樘岢鲞@個(gè)概念的教授，是楊振檸先生的弟子，可行性還有待檢驗(yàn)。”

“只要有可能，就值得投資?！?p/> 陸飛計(jì)劃去趟水木大學(xué)，順便把自己存那里一直沒(méi)時(shí)間取的EMBA碩士證書(shū)給領(lǐng)了。

“陸總，在這之前，我們是不是先去見(jiàn)見(jiàn)章汝京？章總一直在等您從香江回來(lái)?！?p/> 孫紅軍提醒了句，年初中芯跟臺(tái)積電長(zhǎng)達(dá)六七年的國(guó)際訴訟，達(dá)成和解，但作為條件之一，章汝京不得不被迫辭職，離開(kāi)中芯。

“E，見(jiàn)，必須見(jiàn)！”

陸飛叮囑安排兩人見(jiàn)面的行程計(jì)劃。

有個(gè)項(xiàng)目，非他這位老帥不可！