科技帝國從山寨系統(tǒng)開始 第170章 EUV光刻機(jī)?

因?yàn)槲抑坝羞^對(duì)90納米芯片使用的八英寸晶圓的改良經(jīng)驗(yàn)，所以提升晶圓的品質(zhì)以及良品率交給我就行。”

聽到林軒的話語，現(xiàn)場許多人紛紛點(diǎn)頭表示認(rèn)可。

確實(shí)，八英寸的晶圓相比六英寸的晶圓，最大的差別就是加工環(huán)節(jié)。

同一時(shí)間段里，使用八英寸晶圓生產(chǎn)芯片時(shí)能省下很多錢。

如果不計(jì)較成本的問題，六英寸的晶圓確實(shí)可以用，而且有林軒說過會(huì)提升晶圓的品質(zhì)，這樣就更好了。

“所以接下來我們的任務(wù)，就是從晶圓切割之后的一系列生產(chǎn)制造問題”

隨著林軒的話語落地，現(xiàn)場的人們也再次點(diǎn)點(diǎn)頭表示知道。

隨后他們紛紛好奇地看著林軒，想看看林軒會(huì)怎么安排任務(wù)給他們。

不過此時(shí)的林軒卻沒有立馬安排任務(wù)，畢竟林軒對(duì)于現(xiàn)場許多人根本就不了解，怎么能安排任務(wù)呢？

所以需要林軒說了一下目前遇到的難題有什么？

他們這些人需要研發(fā)什么設(shè)備，然后才能根據(jù)他們的意愿以及他們擅長什么而安排任科研務(wù)。

“芯片的生產(chǎn)有著很多機(jī)器，但一些機(jī)器目前我們漢唐科技已經(jīng)在采用一百五十納米的設(shè)備，這種設(shè)備改裝一下也能勉強(qiáng)夠用。”

“因?yàn)橘Y金有限，所以我們的科研任務(wù)是放在絕對(duì)無法采購的核心設(shè)備，比如光刻機(jī)，刻蝕機(jī)，高能離子注入機(jī)，……”

頓了一下，林軒輕聲接著道:

“其中目前最難的就是光刻機(jī)以及刻蝕機(jī)，薄膜沉積設(shè)備，高能離子注入機(jī)。”

“薄膜沉積設(shè)備，島國那邊處于世界領(lǐng)先地位，此外我們還必須得攻克薄膜沉積設(shè)備使用的化學(xué)材料。

刻蝕機(jī)方面也是差不多的情況，目前最難的則是光刻機(jī)。”

但這時(shí)候有人開口說道:

“光刻機(jī)其實(shí)也不算難，光刻機(jī)說到底不過是設(shè)備精度與鏡頭還有掃描曝光系統(tǒng)的問題，在光源上我們的問題不大。

我們大夏有世界領(lǐng)先的激光晶體kbbf，大夏在激光領(lǐng)域也是處于世界領(lǐng)先層次。”

說話的是其中一名年輕的研究生。

大夏許多科技雖然在世人的眼中一直是落后的狀態(tài)，但其實(shí)在一些特殊的領(lǐng)域，特別是軍l事領(lǐng)域其實(shí)并不弱。

其實(shí)關(guān)于激光這東西大夏也早有研究，而且還有了自己的獨(dú)特成果，那就是激光使用的kbbf晶體！

這kbbf晶體可不簡單，大夏發(fā)明它后可以說立刻站在了世界激光領(lǐng)域的前沿。

其在二零零九年中斷kbbf晶體出售后，更是讓美迪國的激光研究被迫停止十五年！

直到十五年后，他們才研究出新的激光晶體替代大夏的kbbf晶體，重新開始激光的大規(guī)模研究。

所以大夏的激光技術(shù)實(shí)際上并不弱，無論是現(xiàn)在還是后世都處于世界領(lǐng)先一流層次。

其中大夏的激光產(chǎn)品銷售也是長期達(dá)到了全球市場的百分之五十，可以說這是少有的技術(shù)領(lǐng)先情況！

“不行，kbbf激光晶體造不了光刻機(jī)，kbbf晶體的激光太勐了，射出的激光（euv）極深紫外光太過鋒利。

一不小心就會(huì)損壞整個(gè)芯片無法使用，除非我們的控制精度與對(duì)準(zhǔn)成像系統(tǒng)能達(dá)到讓人驚訝的程度，否則極深紫外光我們絕對(duì)無法使用。”

目前市面上的光刻機(jī)采用的是紫外光源，紫外光源分為紫外光（ev），深紫外光（duv），極紫外光（euv）。

其中光源越到后面波長就越短，光刻的刀也就越鋒利，對(duì)于精度的控制要求就越高。

所以目前世界上沒有光刻機(jī)采用極深紫外光（euv），作為光源制作光刻機(jī)。

畢竟以目前幾十納米的制程工藝，也不需要這樣高精密的光刻機(jī)，目前絕大部分光刻機(jī)還是使用紫外光（ev）。

只有最前沿的45納米制程工藝，才使用euv之前的深紫外光源，也既是duv光刻機(jī)。

至于更下一步euv光刻機(jī)，那目前更是沒有，之所以沒有，這是因?yàn)槟壳皼]有這方面的需求。

當(dāng)然真實(shí)原因是想研發(fā)這樣的euv光刻機(jī)需要的成本也太高，不下于從零開始設(shè)計(jì)研發(fā)，所以目前市面上并沒有這樣的euv光刻機(jī)出現(xiàn)。

“沒錯(cuò)，光刻機(jī)可不容易制造，你可能是其他領(lǐng)域的，所以有些想當(dāng)然了，光是鏡片就能把我們卡死。”

此時(shí)人群前排的一個(gè)博士，也說出了想造光刻機(jī)不容易。

在他看來光刻機(jī)最難的就是鏡頭部分。

光刻機(jī)需要的鏡面誤差十分之小，鏡面誤差不能大于零點(diǎn)零五微米。

這誤差的范圍用個(gè)形象的比喻，如果把鏡面誤差比喻成天涯海角島的話，那么整個(gè)天涯海角島的平整度誤差不能大于十毫米！

而最為恐怖的是這樣的鏡片不只是一個(gè)，因?yàn)殓R片這東西其實(shí)是有成像誤差的，這成像誤差在光刻生產(chǎn)環(huán)節(jié)的影響十分之嚴(yán)重。

因?yàn)槠钜稽c(diǎn)就會(huì)把整個(gè)芯片損壞，畢竟那可是幾十納米的大小，光照到了不該照的地方，最后制造成成品時(shí)肯定會(huì)短路！

所以為了解決成像誤差，光刻機(jī)就需要非常多的鏡片來解決成像誤差的問題。

這也是為什么很多昂貴的攝像機(jī)或相機(jī)的鏡頭，為什么會(huì)那么長。

原因其實(shí)和光刻機(jī)面臨的問題一樣，為了解決成像誤差的問題，所以相機(jī)鏡頭里面有著非常多的鏡片！

這些鏡片都是高精度鏡片，相互之間精度要求非常之高，所以會(huì)出現(xiàn)一個(gè)鏡頭會(huì)比相機(jī)還貴的現(xiàn)象。

而且別的不說，就說后世的手機(jī)鏡頭模塊里面，其實(shí)有著五到六片鏡片！

而光刻機(jī)自然比相機(jī)與手機(jī)鏡頭要求高，所以現(xiàn)在的光刻機(jī)隨著越來越深入幾十納米的層次。

要求越來越高，鏡片的數(shù)量也越來越多，目前的光刻機(jī)鏡片已經(jīng)達(dá)到了十六到二十個(gè)鏡片。

此時(shí)的人們不知道的是，在后世能生產(chǎn)幾納米芯片的euv光刻機(jī)鏡片已經(jīng)達(dá)到了二十九個(gè)！

這也是為什么林軒情愿花費(fèi)一億資金，也要把那堪稱破爛的鳳凰公司收購的原因。

因?yàn)檫@些鏡片的要求太過嚴(yán)苛，為了那幾個(gè)專精于鏡面打磨的八級(jí)工，林軒也是舍得出一億的資金把他們買下來！

“我們還是讓林軒先生來決定到底怎么樣吧。”

人群的前排中，王院士看著隱隱有開始爭吵的趨勢的諸位博士們與研究生們，他緩緩開口說著。

隨著王院士的開口，瞬間，現(xiàn)場陷入了寂靜。

隨后人們將視線看向了林軒這里，在上千雙眼睛的注視下，林軒也是緩緩開口道:

“關(guān)于光刻機(jī)的問題，我的決定是直接放棄深紫外光（duv）光刻機(jī)，直接研發(fā)極深紫外光（euv）光刻機(jī)！

而且euv光刻機(jī)還沒有太多公司進(jìn)入這個(gè)領(lǐng)域，在這個(gè)領(lǐng)域中也沒有太多專利，正好方便我們自由發(fā)揮設(shè)，設(shè)計(jì)難度也大幅降低。”

聽到林軒的決定，現(xiàn)場頓時(shí)有博士搖頭不認(rèn)同直接跳過euv光刻機(jī)，直接研發(fā)euv光刻機(jī)這點(diǎn)。

“林先生，雖然因?yàn)橛衚bbf晶體的原因，我們在光源上有優(yōu)勢。

但鏡平還有成像定位系統(tǒng)可是一個(gè)難題，而且光刻機(jī)的零件性能要求十分之高，精度也十分之高，這種程度的要求我們能造得出來嗎？

我不是說設(shè)計(jì)的問題，而是我們有那個(gè)材料，有那個(gè)加工精度嗎？”

隨著那個(gè)發(fā)出質(zhì)疑的博士話語，現(xiàn)場陷入了絕對(duì)的寂靜。

確實(shí)，國外為什么比我們先進(jìn)，原因就是他們除了擁有豐富的工人隊(duì)伍。

也就是有著龐大的八級(jí)工九級(jí)工隊(duì)伍外，他們機(jī)器上的精度也十分驚人！

光刻機(jī)是一個(gè)涉及全領(lǐng)域的東西，uu看書它涉及光學(xué)，機(jī)械，材料，化學(xué)等等全方面的領(lǐng)域，被人稱呼為工業(yè)之花。

許多東西，大夏如果想設(shè)計(jì)的話也是可以設(shè)計(jì)出來，但能設(shè)計(jì)卻加工不出來啊！

雖然有八級(jí)工九級(jí)工的存在，但八級(jí)工與九級(jí)工能造幾個(gè)東西？

這個(gè)時(shí)候，看著陷入沉默的人們，何秘書也是適時(shí)的發(fā)話道:

“加工精度上不用擔(dān)心，因?yàn)槲覀兿啾取皟傻┮恍恰钡钠D難時(shí)期已經(jīng)有了很大的變化！

雖然我們機(jī)器的加工精度不行，但我大夏有著龐大的工人隊(duì)伍！”

說到這里的何秘書笑著說道:

“這次上面為了攻克45納米制程工藝也是下狠了心，某位老人還特別發(fā)話無論要什么都全力支持，無論是軍或民都要全力配合。

所以無論是國l營廠還是軍公廠，只要你能設(shè)計(jì)出來并且你們支付了委托費(fèi)用，那我都會(huì)幫你們打通環(huán)節(jié)，就算用手工硬堆，也要堆出你的零件！

此外材料問題也不用擔(dān)心，這次上面也是下狠了心，為了我大夏能將半導(dǎo)體制程工藝推進(jìn)到45納米分層次。

只要漢唐科技給錢，某些辛苦收集來的戰(zhàn)略材料也是下了狠心打開倉庫讓你們用，所以材料問題你們不用擔(dān)心。

只要我們有的我們就立馬給你，我們沒有的，我們會(huì)想方設(shè)法地弄給你們！”

聽到陳秘書的發(fā)言，現(xiàn)場陷入了絕對(duì)的寂靜！

所有人的眼中都露出了驚駭?shù)难凵瘢瑳]有想到上面竟然如此重視！