我看到了一切 第二百八十二章 滴膠

民勤縣，西南側(cè)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園。

春節(jié)期間還有很多人員留下來工作。

其中海陸豐公司、民勤集團(tuán)、長(zhǎng)江存儲(chǔ)和幾家國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)組成的521實(shí)驗(yàn)室、522實(shí)驗(yàn)室、523實(shí)驗(yàn)室，不僅僅沒有放假，反而在過年期間，陸陸續(xù)續(xù)增加了很多科研人員過來。

這三個(gè)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室目前有493名研究員，244名行政和后勤人員。

521實(shí)驗(yàn)室的區(qū)域內(nèi)。

通過冷凍電鏡和其他原子掃描設(shè)備的輔助，幾個(gè)研究員終于將密集的鍍銀硅納米管和一些實(shí)心的碳化硅管組合在一起。

這些細(xì)微的鍍銀硅納米管被實(shí)心碳化硅納米管分割成為一個(gè)個(gè)特殊的圖案，這些圖案就是單層芯片結(jié)構(gòu)中的一部分，也是不需要光刻的那一部分。

本質(zhì)上光刻工藝，就是通過極紫外光將一部分需要清除的光刻膠溶破壞掉，然后通過清洗，將被破壞的光刻膠去掉，最后采用蝕刻、沉積等工藝，將這些凹槽利用起來。

當(dāng)然，實(shí)際操作起來，這些工藝會(huì)非常復(fù)雜，需要反復(fù)進(jìn)行光刻、蝕刻、沉積、擦洗幾十次，甚至幾百上千次都有可能。

而此時(shí)這些研究員的目的，就是打算通過鍍銀硅納米管，解決國(guó)內(nèi)一直難以追趕西方的頂尖光刻機(jī)技術(shù)。

“如何？”

可以看到原子排列結(jié)構(gòu)的顯影設(shè)備，此時(shí)正在顯示出一個(gè)非常龐大的結(jié)構(gòu)畫面，負(fù)責(zé)檢查的研究員抬起頭來：“組長(zhǎng)，這一片滴膠印模已經(jīng)檢查完成，沒有發(fā)現(xiàn)排列錯(cuò)誤的結(jié)構(gòu)。”

組長(zhǎng)葉瑾隨即吩咐道：“那就送去切割吧！”

“好。”另一個(gè)研究員接手了切割工作。

線切工作室內(nèi)，長(zhǎng)度為20厘米的滴膠印模被一點(diǎn)點(diǎn)切割，分割成為非常精確的1厘米厚度。

這些1厘米厚度的滴膠印模板，就是滴膠工藝的核心部件。

葉瑾和其他幾個(gè)小組長(zhǎng)討論著接下來的安排。

“老劉，現(xiàn)在模板已經(jīng)做好了，我們開始試驗(yàn)，你們硅片準(zhǔn)備好了？”

老劉是一個(gè)地中海中年人，他笑著回道：“早就準(zhǔn)備好了，就等你們的模板。”

“那就按照之前的安排，開始進(jìn)行測(cè)試吧！希望一切順利。”葉瑾此時(shí)心里面也是非常忐忑。

“別緊張，船到橋頭自然直。”老劉邊說邊拿起文件夾，看著上面的一些資料：“522那邊的膠料已經(jīng)準(zhǔn)備好了？”

說話的人，是來自于國(guó)內(nèi)一家光刻膠企業(yè)的研究員：“那是自然，別小看我們，由于不需要考慮光刻處理，咱們只需要帶電的膠材料，這種要求可比光刻膠低了幾個(gè)量級(jí)。”

當(dāng)然，實(shí)際的研究中，這種膠材料并沒有那么容易，但難度至少比光刻膠低很多，一番研究之后，522實(shí)驗(yàn)室就拿出了幾款比較適合的滴膠材料。

老劉看著資料，頓時(shí)心里面有一種豪情萬丈的感覺：“中微半導(dǎo)體的蝕刻機(jī)調(diào)試好了，現(xiàn)在萬事俱備了，我們開始吧！”

“同意。”

“也好，是騾子是馬，總要拉出來試一試。”

“我感覺成功率應(yīng)該非常高。”

“你小子倒是有信心，如果成功了，大家都要名垂青史了。”

不一會(huì)。

他們來到了負(fù)責(zé)測(cè)試的523實(shí)驗(yàn)室。

隨著滴膠印模板插入滴膠機(jī)中，滴膠室內(nèi)的空氣已經(jīng)被抽空，替換成為不會(huì)和膠材料反應(yīng)，也不會(huì)發(fā)生電離反應(yīng)的高純度惰性氣體。

同時(shí)除塵設(shè)備也持續(xù)運(yùn)行著，保持這個(gè)滴膠室內(nèi)的高度潔凈，避免灰塵被電離吸引，從而影響滴膠機(jī)的性能。

純水清洗后的8寸硅片，經(jīng)過干燥之后，被機(jī)器送入滴膠機(jī)之中。

滴膠機(jī)的模板也是圓形，還有一個(gè)剛剛好的卡槽，可以剛好可以和硅片對(duì)準(zhǔn)，保證硅片和模板被完全固定，避免滴膠模印過程中，出現(xiàn)細(xì)微的移動(dòng)。

一個(gè)研究員表情非常緊張，手掌心都在冒汗，他顫抖著手指，輕輕按在啟動(dòng)開關(guān)上。

通電之后的滴膠器，其滴膠模板將上面儲(chǔ)存器的膠液吸入，通過電磁加速讓帶電膠液快速從上往下拉。

剎那間，一滴滴細(xì)微的納米級(jí)膠滴，從模板下方滴落在硅片表面，這些膠滴很快就形成一個(gè)個(gè)滴點(diǎn)，而這些滴點(diǎn)彼此之間融合在一起，形成一道道紋路。

隨即滴膠機(jī)斷電，僅僅滴落一滴膠液，剩下的膠液被管道裹挾著，根本滴落不下去。

滴膠機(jī)離開硅片上方，緊接著光固化設(shè)備向硅片表面發(fā)射出特定的紫外線，對(duì)膠滴圖案進(jìn)行光固化。

葉瑾急不可耐地說道：“快，看看圖案有沒有問題。”

老劉搖了搖頭：“葉博士別急呀！多做幾片，到時(shí)候一起送檢。”

“好吧！”

不到半個(gè)小時(shí)，滴膠室內(nèi)就連續(xù)生產(chǎn)了幾十片滴膠硅片。

負(fù)責(zé)測(cè)試滴膠圖案的研究小組，也將一批批滴膠硅片送去實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)。

所有人都不由自主地沉默下來，他們都在等待結(jié)果。

時(shí)間一分一秒過去了。

大概過了兩個(gè)小時(shí)。

“呼呼…”一個(gè)研究員拿著一份報(bào)告跑過來。

所有人頓時(shí)齊刷刷盯著他。

“呼呼…好消息，滴膠圖案沒有出現(xiàn)缺陷，可以開始進(jìn)行蝕刻、沉積等工藝的測(cè)試了。”

頓時(shí)空氣為之一靜。

緊接著便是震耳欲聾的呼呼聲。

“噢噢噢…”

“我們成功了！”

“萬歲！”

“哈哈哈，我就說成功率很高。”

“太好了，我們做到了！”

興奮的呼呼聲，幾乎是震耳欲聾，大家都難以平靜，在向周圍的同事同行表達(dá)著內(nèi)心的激動(dòng)。

啪啪啪…十幾分鐘之后，年紀(jì)比較大的老劉拍了拍手掌：“我們邁出了走向成功的第一步，現(xiàn)在不是放松的時(shí)候，接下來大家加把勁，爭(zhēng)取完成全套工藝的革新。”

“放心吧！老劉，我現(xiàn)在渾身上下都充滿了力量，比喝了一百罐紅牛還精神。”一個(gè)同樣四十多歲的研究員紅光滿面說道。

老劉連忙提醒道：“別別別，雖然工作非常重要，但是我可不想大家積勞成疾，畢竟大家也不想失去上臺(tái)領(lǐng)獎(jiǎng)的機(jī)會(huì)吧？”

“知道，勞逸結(jié)合嗎！不過每天干十個(gè)小時(shí)應(yīng)該問題不大，我以前在臺(tái)積電的時(shí)候，可是經(jīng)常通宵達(dá)旦。”

葉瑾此時(shí)也意氣風(fēng)發(fā)起來：“老劉說的對(duì)，大家慶功會(huì)上見！”

“慶功會(huì)上見！”

興奮之后，所有人開始冷靜下來。

很快他們利用實(shí)驗(yàn)室的設(shè)備，開始重復(fù)滴膠、蝕刻、沉積、研磨、清洗、離子注入。

第一批實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)的存儲(chǔ)器芯片，在半個(gè)月后被生產(chǎn)出來。

之所以這么快，主要是因?yàn)榈文z工藝取代光刻工藝之后，整體速度提升了非常多。

而他們通過實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)的芯片，其設(shè)計(jì)模型來自于長(zhǎng)江存儲(chǔ)，因此只能生產(chǎn)存儲(chǔ)器芯片。

不僅僅是存儲(chǔ)器的外圍邏輯單元，連內(nèi)部的存儲(chǔ)單元，也都一并采用了同一個(gè)制程，即10納米制程。

此時(shí)長(zhǎng)江存儲(chǔ)的幾個(gè)老總已經(jīng)到了民勤縣。

長(zhǎng)江存儲(chǔ)董事長(zhǎng)陳南賢，副董事長(zhǎng)楊士凝，董事劉休昆等人，看著眼前的存儲(chǔ)器芯片，眼睛都快冒光了。

哪怕是在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)摸爬滾打了半輩子，楊士凝也不由自主地發(fā)出驚嘆：“每平方米毫米100G的儲(chǔ)存密度嗎？恐怖如斯…”

陳南賢也是滿臉震驚：“是呀！相當(dāng)于單位儲(chǔ)存密度提升5倍左右，而且能耗下降了36，讀取速度提升了33，成本下降了41左右，這簡(jiǎn)直是劃時(shí)代的產(chǎn)品。”

“陳董，我覺得我們應(yīng)該進(jìn)入半導(dǎo)體代工行業(yè)了。”一旁的劉休昆提議道。

“半導(dǎo)體代工？”陳南賢跟著點(diǎn)了點(diǎn)頭：“確實(shí)，我們不能錯(cuò)過這個(gè)機(jī)會(huì)，滴膠工藝取代光刻工藝之后，整個(gè)芯片的生產(chǎn)成本下降30到40左右，而且這相當(dāng)于我們直接掌握了10納米制程，此時(shí)不進(jìn)入半導(dǎo)體代工產(chǎn)業(yè)，簡(jiǎn)直是對(duì)不起之前的投資和布局。”

楊士凝提醒道：“陳董，江院士那邊怎么說？”

聞言，陳南賢也知道這件事避不開江淼和海陸豐公司，他拿起電話打過去。

嘟嘟…

“喂，陳董，有什么事情？”

“江院士，我們合作的那個(gè)項(xiàng)目初步獲得了成功，我想問一下海陸豐公司下一步有什么打算？”

電話對(duì)面的江淼，自然已經(jīng)收到了相關(guān)的消息，不過他并沒有進(jìn)入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的想法，因此便開口回道：

“陳董是想進(jìn)入半導(dǎo)體的其他產(chǎn)業(yè)？”

“正是，不知道江院士有沒有興趣投資？”

“可以，海陸豐公司就投資200億吧！我們就做財(cái)務(wù)投資，股票占比到時(shí)候根據(jù)各方出資比例算就可以。”

“沒問題。”陳南賢心里面清楚得很，如果海陸豐公司愿意，拿出上千億流動(dòng)資金都沒有問題，不過看樣子，江淼似乎并不打算控股這個(gè)半導(dǎo)體代工企業(yè)，真只是單純的財(cái)務(wù)投資。

畢竟對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，200億勉勉強(qiáng)強(qiáng)只能建一個(gè)小晶圓廠而已。

而這一次技術(shù)突破的消息，雖然外界沒有收到消息，但官方肯定已經(jīng)知道了。

因此投資占比的大頭，肯定是國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基金和國(guó)資投資公司，另外長(zhǎng)江存儲(chǔ)作為運(yùn)行管理方，也肯定會(huì)拿到一部分股份。

他估計(jì)海陸豐公司這200億，只能占10左右的股份。

當(dāng)然，這并不代表海陸豐公司就虧了，因?yàn)槊袂诰軆x器公司51的股份是海陸豐公司的。

這個(gè)精密儀器公司剩下的49股份中，長(zhǎng)江半導(dǎo)體只拿到了7的股份，涼州國(guó)資投資公司10、中微半導(dǎo)體8、其他幾個(gè)出人出力的合作企業(yè)拿到了24的股份。

未來國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之中，替代光刻工藝的滴膠工藝，這個(gè)工藝的生態(tài)位就由民勤精密儀器公司主導(dǎo)。

聊了一會(huì)，陳南賢才掛了電話。

“江院士說了，他們作為設(shè)備供應(yīng)商就可以，然后打算投資我們的半導(dǎo)體代工公司200億，作為單純的財(cái)務(wù)投資，并不打算進(jìn)入半導(dǎo)體生產(chǎn)。”

楊士凝暗中松了一口氣，幸好海陸豐公司沒有想法，要不然就麻煩了，畢竟海陸豐公司在國(guó)內(nèi)的地位太特殊了

特別是他們長(zhǎng)江存儲(chǔ)這種國(guó)營(yíng)企業(yè)，肯定不想得罪海陸豐公司背后的江淼。

劉休昆瞇著眼說道：“陳董，我認(rèn)為我們不要馬上公布技術(shù)突破。”

而陳南賢也隨即明白了他的想法：“你是想將一部分設(shè)備湊齊之后，才發(fā)動(dòng)猛烈進(jìn)攻？”

“嗯，現(xiàn)在外界并不知道我們已經(jīng)成功了，我認(rèn)為沒有必要馬上公布，畢竟現(xiàn)在公布了，一點(diǎn)好處都沒有，反而會(huì)讓西方勢(shì)力反應(yīng)過來，他們肯定會(huì)狗急跳墻，加大對(duì)其他設(shè)備的禁購力度。”

楊士凝點(diǎn)了點(diǎn)頭：“我同意休昆的看法，現(xiàn)在我們已經(jīng)拿到了賽點(diǎn)，更應(yīng)該冷靜下來，而不是提前揭開底牌。”

思考片刻，陳南賢也覺得不能意氣用事：“好，我待會(huì)再和海陸豐公司溝通一下，他們應(yīng)該會(huì)配合我們。”

“還有一件事，我認(rèn)為現(xiàn)在應(yīng)該聯(lián)系海思那邊。”劉休昆意有所指。

“海思？”陳南賢隨即點(diǎn)了點(diǎn)頭：“可以，暗中聯(lián)系他們，不過不要告訴他們關(guān)鍵信息，要求他們派核心管理層過來，再談雙方的合作。”

之所以要邀請(qǐng)海思半導(dǎo)體，原因就是長(zhǎng)江存儲(chǔ)并沒有其他邏輯芯片的設(shè)計(jì)能力。

而滴膠工藝的出現(xiàn)，瞬間將長(zhǎng)江存儲(chǔ)的芯片加工制程拔高到了10納米級(jí)別。

這個(gè)級(jí)別的芯片制程，已經(jīng)是國(guó)際先進(jìn)水平了，至于什么7納米、5納米造程，其實(shí)并不是真正的7納米、5納米，而是叫等效7納米、等效5納米。

也就是說，長(zhǎng)江存儲(chǔ)如果繼續(xù)研究，他們一樣可以通過差不多的技術(shù)手段，實(shí)現(xiàn)所謂的等效7納米、等效5納米。

現(xiàn)在擺在長(zhǎng)江存儲(chǔ)面前的問題，反倒是要找到合適的客戶。

如果沒有合適的客戶，有龐大的芯片產(chǎn)能又如何，一樣會(huì)虧錢。

現(xiàn)階段國(guó)內(nèi)的企業(yè)之中，很多手機(jī)、電腦企業(yè)都是靠不住的，原因很簡(jiǎn)單，這些企業(yè)需要顧慮國(guó)際市場(chǎng)，以及阿美麗卡的態(tài)度。

畢竟這些企業(yè)使用了西方企業(yè)的軟件系統(tǒng)、芯片和技術(shù)，就很難避開西方資本的影響。

唯一不需要考慮這個(gè)問題的企業(yè)，就是花粉公司了，畢竟他們已經(jīng)上了阿美麗卡的黑名單。

其他企業(yè)反而沒有破釜沉舟的決心。

因此長(zhǎng)江存儲(chǔ)有芯片產(chǎn)能，同時(shí)也需要一個(gè)穩(wěn)定的客戶；而花粉公司有先進(jìn)的芯片設(shè)計(jì)能力，同時(shí)需要先進(jìn)工藝的芯片代工企業(yè)。

兩者的生態(tài)位可以高度互補(bǔ)。

如果沒有客戶，那長(zhǎng)江存儲(chǔ)只能硬著頭皮學(xué)習(xí)英特爾，自己搞芯片設(shè)計(jì)、芯片加工。

至于國(guó)營(yíng)企業(yè)需要的芯片，這個(gè)市場(chǎng)中的絕大部分，其實(shí)是不需要使用到10納米制程的芯片。

比如電網(wǎng)需要的芯片、汽車需要的芯片，很多20多納米到40多納米級(jí)別的產(chǎn)品，基本已經(jīng)夠用了。

10納米級(jí)別的芯片，一般是使用在電腦、手機(jī)、服務(wù)器上面的。

這其實(shí)就是工業(yè)級(jí)芯片和消費(fèi)級(jí)芯片的差異。

消費(fèi)級(jí)的芯片，要求性能、功耗，加上高附加值，自然用得起10納米級(jí)別的芯片。

可是工業(yè)級(jí)的芯片，往往是不需要這么好的芯片，比如汽車芯片，如果覺得算力不夠用，可以直接迭加多幾顆芯片，反正汽車空間夠大、還有車載散熱器。

畢竟先進(jìn)制程的芯片，成本也非常高。

不過長(zhǎng)江存儲(chǔ)也可以考慮采用低價(jià)促銷的方式，用先進(jìn)制程的芯片替代那些低級(jí)芯片，反正改用滴膠工藝之后，整個(gè)芯片的生產(chǎn)成本會(huì)下降30到40，完全可以用高性能，低成本的優(yōu)勢(shì)，直接將這個(gè)中低端市場(chǎng)吃下去。

反正國(guó)內(nèi)每年要進(jìn)口一大堆中低端的工業(yè)芯片。

不過長(zhǎng)江存儲(chǔ)要搶奪中低端芯片的市場(chǎng)，確實(shí)也非常麻煩，原因就是從始至終，長(zhǎng)江存儲(chǔ)就不是一個(gè)專業(yè)的邏輯芯片設(shè)計(jì)企業(yè)，沒有太強(qiáng)的邏輯芯片設(shè)計(jì)能力，就意味著他們要從零開始。

這可比干代工難很多。

而且很多專業(yè)芯片，可不僅僅是招聘幾百個(gè)工程師就可以設(shè)計(jì)出來的，比如那些汽車芯片，為什么歐洲還有芯片企業(yè)，就是因?yàn)樗麄冞€有不錯(cuò)的專業(yè)芯片設(shè)計(jì)能力。

例如意法半導(dǎo)體、英飛凌等，這些就是專業(yè)芯片的佼佼者。

如果沒有必要，長(zhǎng)江存儲(chǔ)還是打算替代臺(tái)積電的生態(tài)位，而不是成為類似于英特爾的全體系半導(dǎo)體企業(yè)。

同時(shí)中低端芯片方面，國(guó)內(nèi)的中芯國(guó)際等企業(yè)已經(jīng)有不錯(cuò)的實(shí)力，長(zhǎng)江存儲(chǔ)沒有必要將精力集中在中低端芯片上，而是要集中精力向先進(jìn)制程推進(jìn)。

畢竟從工藝角度上來講，在研發(fā)等效7納米、等效5納米的芯片過程中，滴膠工藝比光刻工藝更容易實(shí)現(xiàn)。

因?yàn)楣鈺?huì)衍射，需要非常多的精密鏡頭，控制精度要求非常高。

滴膠工藝則不一樣，這東西的難度在于如何制造無缺陷的滴膠印模板，只要模板制造出來，那后面的工藝就非常簡(jiǎn)單。

同時(shí)滴膠工藝的膠材料不像光刻膠那樣苛刻，甚至可以通過不同的膠材料，實(shí)現(xiàn)一些特殊的設(shè)計(jì)。

陳南賢等人也不得不感嘆，材料才是現(xiàn)代技術(shù)的基石。

他們?nèi)瞬]有都離開民勤，而是留下一個(gè)人在這邊協(xié)調(diào)工作，其他兩個(gè)人則趕回去長(zhǎng)江存儲(chǔ)的總部。

一邊偷偷調(diào)兵遣將，這邊布局半導(dǎo)體代工行業(yè)。

另一方面，則和很多半導(dǎo)體加工設(shè)備供應(yīng)商談合作，既要求國(guó)產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商加快技術(shù)攻關(guān)，也加錢讓國(guó)外的設(shè)備供應(yīng)商盡快發(fā)貨。

(本章完)